摘要
本申请公开了一种光耦合封装装置,属于光电子集成技术领域。光耦合封装装置包括:中介层,包括光学器件、空腔以及位于所述空腔中的第一对准结构和第一耦合结构,所述第一耦合结构与所述光学器件连接;第一光学芯片,至少部分位于所述空腔中,所述第一光学芯片包括第二对准结构和第二耦合结构,所述第二对准结构与所述第一对准结构相互嵌合,所述第二耦合结构与所述第一耦合结构耦合连接。本申请能够实现高精度对准,减少对准误差,降低工艺复杂度,降低成本,且提高光信号传输的稳定性,降低光信号传输损耗。
技术关键词
耦合封装装置
耦合结构
对准结构
光学器件
凹槽结构
周期结构
中介层
光电子集成技术
空腔
光栅耦合器
衬底
对准误差
芯片
光信号
层叠
转换器
复杂度
光纤
损耗
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