摘要
本发明涉及芯片技术领域,具体是涉及一种红光LED芯片及其制作方法。该红光LED芯片自下而上包括背面电极、Si衬底、Au键合层、In键合层、过渡阻挡层、镜面层、介质膜层、欧姆接触层、Au填充阻挡层、GaP窗口层、P型过渡层、P型限制层、P型波导层、发光层、N型半导体层、粗化球形孤岛、钝化层、正面电极;Au填充阻挡层位于所述芯片切割道投影区域并被介质膜层包覆;欧姆接触层凸向所述镜面层的表面为弧形表面;粗化球形孤岛的表面均匀分布有金字塔绒面。本发明从制作方法上进行优化,得到的红光LED芯片发光效率高,可靠性好,器件整体性能稳定。
技术关键词
红光LED芯片
芯片切割道
阻挡层
红光LED外延片
金字塔绒面
欧姆接触层
半导体层
蚀刻技术
背面电极
分散剂
热固化方式
GaAs衬底
介质
制作方法制作
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