摘要
本申请涉及压差控制领域,尤其是涉一种洁净室压差自适应控制方法、装置、设备及介质。方法包括:本申请通过实时获取送风量数据和回风量数据,能够准确反映洁净室当前的空气流动状态,基于这些数据确定的最大压差风量,可以更精确地反映洁净室内部压力变化的需求。通过建立基础压差风量波动值对应的第一漏风量波动函数,也即通过考虑洁净室密封情况造成的漏风量,能够考虑并适应洁净室内部可能存在的微小压力波动,从而提高洁净室压差控制的精确性。
技术关键词
漏风量
洁净室
灰色预测模型
序列
缝隙
周期
数据
基础
排风装置
电子设备
参数
计算机
关系
可读存储介质
存储器
控制模块
处理器
系统为您推荐了相关专利信息
重构误差
序列
动态阈值检测
深度学习模型
数据处理模块
程度识别方法
接触球轴承
声纹特征
损耗
阵列麦克风
序列
深度卷积网络模型
负荷预测模型
循环神经网络模型
电力系统
编码向量
电池状态参数
锂离子电池
电池表面温度
监测方法