封装结构及其形成方法

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封装结构及其形成方法
申请号:CN202411645702
申请日期:2024-11-18
公开号:CN119419174B
公开日期:2025-11-07
类型:发明专利
摘要
一种封装结构及其形成方法,其中封装结构包括:芯片结构;电互连层,与芯片结构电连接;若干键合凸点,与电互连层电连接;键合框;驱动基板,其内具有第一液体流道,分别与键合凸点和键合框键合连接,键合框与第一液体流道相连通;进液管和出液管,分别与进液口和出液口相连通;底填胶,底填胶用于将进液管和出液管与驱动基板粘接固定。进液管和出液管能够提供便捷对接方式,而且通过底填胶进行粘接固定,以满足长期使用的密封可靠性要求。完整的液体流道结构形成、以及进液管和出液管的固定连接匹配现有封装流程的要求,进而能够实现量产。
技术关键词
驱动基板 芯片结构 封装结构 液体流道 光刻胶层 金属材料 焊盘 电镀工艺 进液管 碳钢 不锈钢
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