摘要
一种封装结构及其形成方法,其中封装结构包括:芯片结构;电互连层,与芯片结构电连接;若干键合凸点,与电互连层电连接;键合框;驱动基板,其内具有第一液体流道,分别与键合凸点和键合框键合连接,键合框与第一液体流道相连通;进液管和出液管,分别与进液口和出液口相连通;底填胶,底填胶用于将进液管和出液管与驱动基板粘接固定。进液管和出液管能够提供便捷对接方式,而且通过底填胶进行粘接固定,以满足长期使用的密封可靠性要求。完整的液体流道结构形成、以及进液管和出液管的固定连接匹配现有封装流程的要求,进而能够实现量产。
技术关键词
驱动基板
芯片结构
封装结构
液体流道
光刻胶层
金属材料
焊盘
电镀工艺
进液管
碳钢
不锈钢
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