球形抛光头氧化铈抛光液斜轴抛光加工表面形貌预测方法

本发明公开了一种球形抛光头氧化铈抛光液斜轴抛光加工表面形貌预测方法，通过氧化铈抛光液中单颗氧化铈磨粒受力出发，结合氧化铈磨粒在工件表面压入情况，获取球形抛光头斜轴抛光加工过程中，抛光头驱动下，抛光头‑工件接触面内单颗氧化铈磨粒运动轨迹，获得单颗氧化铈磨粒运动足迹，通过抛光头‑工件接触面有效氧化铈磨粒数和设定氧化铈磨粒运动足迹叠加策略，实现加工表面形貌预测。本发明提供的球形抛光头氧化铈抛光液斜轴抛光加工表面形貌预测方法，结合了氧化铈磨粒受力、氧化铈磨粒运动、有效氧化铈磨粒数以及氧化铈磨粒叠加情况下，实现的球形抛光头氧化铈抛光液斜轴抛光加工表面形貌预测方法，提升了预测结果的准确性。