用于涂覆基板的方法和设备

本公开提供了“用于涂覆基板的方法和设备”。一种用于涂覆基板的设备和方法包括将所述基板的第一部分预热到第一温度。所述方法包括：从材料涂敷器喷射第一材料，使得将所述第一材料涂敷到所述基板的所述经预热的第一部分。所述第一材料包括第一溶剂组分和第一涂层组分。所述第一温度高于环境温度并且低于所述第一涂层组分的沸点。