摘要
本发明提供一种封装结构及制作方法,包括以下步骤:提供晶圆,晶圆包括相对设置的第一面和第二面,晶圆的第一面形成有若干芯片以及覆盖芯片的封装层;于封装层中形成应力释放槽,应力释放槽呈环状结构,应力释放槽由封装层的侧壁延伸至封装层的内部,以释放晶圆与封装层热之间膨胀系数不同产生的应力。本发明的封装结构及制作方法中,于封装层的边缘区域设置应力释放槽,给封装层的材料形变提供变形空间,使得应力得到有效释放,避免晶圆产生翘曲;并且适用不同类型的封装,操作简单,显著改善因热膨胀系数不同导致的晶圆翘曲问题。
技术关键词
封装结构
应力释放槽
晶圆
切割刀具
制作方法制作
芯片
压力传感器
载体
封装体
环状
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