一种触觉传感器及其制作方法

本发明公开了一种触觉传感器及其制作方法，触觉传感器包括：线圈单元和磁柱单元，线圈单元具有若干线圈；磁柱单元具有多个磁柱，磁柱朝同一方向倾斜布置，磁柱的下端与线圈单元的上表面固定连接，磁柱弯曲时会在线圈内产生感应电动势。制作方法，包括如下步骤：S1、分别制备线圈单元和磁柱单元；S2、将磁柱单元粘黏固定在线圈单元的上表面。与现有技术相比，本发明提供的触觉传感器具有倾斜布置的磁柱，在倾斜磁柱弯曲过程中，磁场的空间分布将发生变化，经过线圈的磁通量会发生变化，传感器将产生变化的感应电动势，通过磁柱向上或向下弯曲偏转，就能够产生两个可区分的信号，具有高灵敏度和低检测限。