摘要
本申请涉及一种植球凸点形成方法、系统、智能终端及存储介质,涉及芯片封装技术领域,其方法包括:在集成电路晶圆上覆盖第一介电层,第一介电层上设置有第一开口,第一开口露出集成电路晶圆的芯片电极;在第一开口处形成再布线层;在再布线层上覆盖第二介电层,第二介电层上设置有第二开口,第二开口露出部分再布线层;将具有植球凸点图形的过渡层转移至第二开口上,植球凸点图形为异形;通过植球工艺,在过渡层上形成植球凸点,植球凸点的高度小于预设高度。本申请具有形成异形的植球凸点,从而缩小晶圆的封装尺寸的效果。
技术关键词
助焊剂
焊球
植球工艺
集成电路
介电层
聚类
智能终端
加热
布线
层转移
芯片封装技术
尺寸
处理器
短距离
存储器
激光
参数
焊料
可读存储介质
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