衬底搬送装置及具备所述衬底搬送装置的衬底处理装置

本发明的目的在于提供一种衬底搬送装置及具备所述衬底搬送装置的衬底处理装置，能效率良好地搬送衬底。在搬送衬底的衬底搬送装置中，具备：手部，将衬底保持为水平姿势；水平驱动机构，为了交接衬底而将所述手部在水平面内进退驱动；至少2个引导件，设置于所述手部，夹持衬底的外周面使所述衬底与所述手部分开并保持；进退驱动机构，使所述至少2个引导件中，至少1个引导件作为可动引导件相对于所述衬底进退驱动；取得部，取得表示所述引导件夹持衬底的所述外周面的所述水平面内的位置的夹持位置信息；及控制部，基于所取得的所述夹持位置信息判定所述引导件的消耗程度。