一种芯片封装过程中的同心圆取片方式

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一种芯片封装过程中的同心圆取片方式
申请号:CN202411700604
申请日期:2024-11-26
公开号:CN119626950A
公开日期:2025-03-14
类型:发明专利
摘要
本发明为一种芯片封装过程中的同心圆取片方式,包括如下步骤:1)晶圆台上料:将准备好的wafer放入提框中,自动加载至晶圆台;2)条形码扫描;3)加载map图;4)定位及圆心设定;5)同心圆转换;6)同心圆取片:以上步骤均完成后,开始同心圆取片。本发明通过实现让贴片机走同心圆路线进行取片的方式,使性能较为接近的die封装于同一个模块上,改善模块的最终性能。
技术关键词
芯片封装 圆心 扫描条形码 晶圆 贴片机 圆台 轨迹 坐标 模块 鼠标 记忆 定义 尺寸
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