用于光学测量和检查系统的照射设置的适配

用于光学测量和检查系统的照射设置的适配。本发明涉及对工件上的感兴趣特征进行光学检查的方法。该方法包括：模拟工件模型的照射；基于从照射获得的合成图像训练AI智能体或ML模型以自动控制多个光源；在由相机捕获的图像中推断感兴趣特征的特性；经训练的AI智能体控制多个光源以选择照射感兴趣特征的光设置；在用所选择的光设置照射感兴趣特征时光学检查所照射的感兴趣特征。照射包括：提供工件模型的3D数据；利用虚拟相机和对应于真实光源的布置而布置的多个虚拟光源来接近特征在工件模型上的表示；渲染在虚拟光源的特定预定义光设置的集合下从虚拟相机的视点对特征的表示成像的多个基础图像；通过合成基础图像获得所有可能光设置的合成图像。