摘要
本申请公开了一种光学共封装结构及其制备方法、光设备,适用于半导体技术领域,该光学共封装结构包括封装基板、第一芯片和堆叠结构,其中,封装基板包括相对设置的第一表面和第二表面,第一表面设置有凹槽,凹槽从第一表面延伸至封装基板内,第一芯片与第一表面键合,堆叠结构包括键合的光芯片和电芯片,其中,光芯片的与电芯片键合的一面包括第一再布线层,至少部分第一再布线层的远离光芯片的一侧设置有第一连接端子,第一连接端子与封装基板的第一表面键合连接,电芯片嵌入凹槽内。本申请的技术方案实现了光学共封装结构的整体性能的提升。
技术关键词
封装基板
光芯片
堆叠结构
散热盖
布线
光设备
光学封装结构
端子
凹槽
接口
电路板
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