一种CGH检测光路自动调整方法

本发明公开了一种CGH检测光路自动调整方法，包括：S1，按照光学设计给出的间距，搭建CGH检测光路；S2，测量并计算得到位姿误差；S3，基于位姿误差，生成调整指令；S4，基于调整指令，驱动六维调整机构对激光干涉仪和CGH衍射式补偿器进行位姿调整；S5，重复步骤S2～S4，直至满足预设误差阈值，完成粗调；S6，利用激光干涉仪对被测反射镜进行干涉成像，根据干涉成像结果，完成精调。本发明所述方法，可实现反射镜CGH检测光路的快速调整，提高了光学元件的面形检测能力，提升了面形检测精度与一致性，降低了面形检测环节人力需求，缩短了检测周期，提升了光学系统装调效率，解决了大口径光学系统装调周期过长、一致性差的问题。