一种基于知识图谱推理的芯片缺陷检测与优化系统

本发明公开了一种基于知识图谱推理的芯片缺陷检测与优化系统，包括芯片缺陷检测模块、数据存储与知识图谱构建模块、推理分析模块和反馈优化模块；基于知识推理系统进行缺陷根因分析和生产工艺优化，且反馈优化模块基于推理结果生成工艺优化建议，通过自动工艺调整系统和自适应反馈控制器对生产流程进行实时优化，确保优化措施能够有效减少缺陷的发生。本系统通过集成缺陷检测、知识推理和工艺优化闭环，能够实现缺陷早期预警、根因分析和工艺参数的自动调整，显著提高芯片生产过程的质量和效率。