封装结构及其形成方法

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封装结构及其形成方法
申请号:CN202411828882
申请日期:2024-12-12
公开号:CN119725105A
公开日期:2025-03-28
类型:发明专利
摘要
本发明提供一种封装结构及其形成方法,桥接芯片的内部重布线层顶部未设置导电柱,降低了桥接芯片的整体厚度,进而降低了对桥接芯片进行塑封时的包覆厚度,降低了由第一塑封层与桥接芯片组件所构成的布线插入层的厚度,避免翘曲影响制程作业。并且,形成方法在桥接芯片的内部重布线层顶面设置粘附层,桥接芯片倒装设置在第一载板顶面,有利于超薄的桥接芯片的埋入。桥接芯片通过内部重布线层扇出直接与芯片封装组件连接,内部重布线层无需通过导电柱与芯片封装组件连接,一方面提高互连密度,更加满足高频高速信号的产品应用需求,另一方面有利于降低其他构件的高度,能够缩短其他构件间距以及关键尺寸,进而形成更高的连接密度,有利于产品的小型化。
技术关键词
重布线层 芯片封装组件 封装结构 互连结构 桥接芯片组 基体 导电连接结构 载板 导电线路 焊垫 通孔 介质 制程作业 晶圆 电镀 导电柱 密度
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