摘要
本发明提供一种封装结构及其形成方法,桥接芯片的内部重布线层顶部未设置导电柱,降低了桥接芯片的整体厚度,进而降低了对桥接芯片进行塑封时的包覆厚度,降低了由第一塑封层与桥接芯片组件所构成的布线插入层的厚度,避免翘曲影响制程作业。并且,形成方法在桥接芯片的内部重布线层顶面设置粘附层,桥接芯片倒装设置在第一载板顶面,有利于超薄的桥接芯片的埋入。桥接芯片通过内部重布线层扇出直接与芯片封装组件连接,内部重布线层无需通过导电柱与芯片封装组件连接,一方面提高互连密度,更加满足高频高速信号的产品应用需求,另一方面有利于降低其他构件的高度,能够缩短其他构件间距以及关键尺寸,进而形成更高的连接密度,有利于产品的小型化。
技术关键词
重布线层
芯片封装组件
封装结构
互连结构
桥接芯片组
基体
导电连接结构
载板
导电线路
焊垫
通孔
介质
制程作业
晶圆
电镀
导电柱
密度
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