一种用于ESD保护的可调式SCR器件及其连接方法

本发明提出一种用于ESD保护的可调式SCR器件及其连接方法，属于电子科技与技术领域。所述器件包括：P型衬底，绝缘层，第一多晶硅栅区，第二多晶硅栅区，N型阱区，P型阱区，第一N+区，第一P+区，第二N+区，第二P+区，第一N型沟道区，P型沟道区，第二N型沟道区。在上述结构中，第一N+区和第一P+区通过导线互联形成器件的阳极，第二N+区和第二P+区通过导线互联形成器件的阴极。本发明在不增加器件面积的基础上，通过对传统SCR器件结构的改进，引入了NPN超结型沟道与多晶硅侧栅，增加了超结结构的NPN型符合沟道区域，由此可以实现SCR器件的可调节的电流分布与参数特性。