精确测量探针接触电阻的方法

本发明提供一种精确测量探针接触电阻的方法，提供具有N个测试焊盘的测试结构，相邻焊盘间连接相同电阻值的被测器件电阻，其中N≥5；在第一焊盘和第N焊盘持续施加0A电流；在第X焊盘施加0V电压，在第X+1焊盘施加驱动电流I_force，其中1<X<N‑1；测量第一焊盘电压V1、第X+1焊盘电压V(X+1)及第N焊盘电压VN；计算第X焊盘接触电阻Rpad_X＝V1/I_force，第X+1焊盘接触电阻Rpad_(X+1)＝(V(X+1)‑VN)/I_force；以步进2递增X值，循环执行步骤三至五，获取中间各焊盘接触电阻值。本发明在不改变现有测试结构的情况下，只改变测试方法，精确测量探针接触电阻，从而监控针卡状态。