摘要
本发明属于封装结构技术领域,特别涉及高密度垂直堆叠DRAM封装结构、工艺。封装结构由DRAM 02芯片~DRAM 04芯片依次垂直堆叠在DRAM 01芯片上形成,DRAM 04芯片的正面有金属凸块;DRAM芯片被模塑料包覆形成模塑封装层,垂直通孔从内部贯穿封装结构,模塑料包括成品环氧树脂模塑料、环氧树脂、液晶聚合物、氧化铍、氮化硼纳米管、氧化锌、固化剂、催化剂、抗氧化剂、阻燃剂、自修复剂。本发明还提供了封装结构的具体制备工艺。本发明通过优化封装工艺和封装结构以及封装材料,不仅简化了工艺流程,降低了生产成本,还大幅提升了封装结构的散热性能和可靠性,满足了高性能DRAM封装的需求。
技术关键词
封装结构
模塑封装
模塑材料
堆叠芯片
氮化硼纳米管
高密度
DRAM芯片
环氧树脂模塑料
液晶聚合物
重布线层
氧化铍
紫外线固化胶粘剂
修复剂
三聚氰胺氰脲酸盐
聚乙烯吡咯烷酮
催化剂
固化剂
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