摘要
本申请涉及一种弹性波器件及其模组,该弹性波器件包括器件芯片、封装基板以及支撑层,封装基板的一面与支撑层的一面接合,用于与外部电路连接;支撑层的另一面与所述器件芯片的主表面接合;支撑层具有导电通孔;导电通孔中具有导电金属;其中,封装基板的一面具有凸块焊盘,凸块焊盘与导电金属接合;凸块焊盘的长度小于导电通孔的孔径;在垂直于支撑层的一面的方向上,凸块焊盘的厚度与导电金属的厚度之和大于导电通孔的高度。通过本申请的弹性波器件及其模组,解决了传统的WLP封装结构的制成成本较高,且屋顶层和支撑层的接合处易出现分层问题,在降低了WLP封装结构的制成成本的同时,保证了弹性波器件的频率稳定性和品质因子。
技术关键词
弹性波器件
封装基板
导电
凸块焊盘
电极
压电基板
封装结构
种子层
通孔
芯片
模组
布线
柱状
氮化硅
氧化硅
电路
屋顶
分层
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