摘要
本发明涉及封装结构技术领域,更涉及封装偏移堆叠DRAM结构的方法。步骤:DRAM芯片为芯片,将第一个芯片的背面粘贴在临时基座上;在第一个芯片的正面偏移粘贴另一个芯片的背面;其余芯片也按此粘贴,塑封,通过钻孔在塑封后的堆叠芯片中成型多个通孔,每个通孔都分别连通一个芯片;在每个通孔内补入导电材料,形成TMV结构,在TMV后的堆叠芯片的正面形成重布线层,在重布线层上形成凸块,去除临时基座,得到所需结构;其中,偏移堆叠时,不从第一个芯片计算,从其后的第二个芯片开始计算,每2个芯片偏移方向相同,每2个芯片堆叠后改变偏移方向。本发明实现多个DRAM芯片堆叠,优化了封装结构,降低了封装难度。
技术关键词
DRAM芯片
DRAM结构
堆叠芯片
可再生植物油
重布线层
芯片堆叠
增塑剂
封装结构技术
树脂溶液
导电浆料
铜纳米颗粒
通孔
正面
环氧树脂
环氧大豆油
钻孔
导电银浆
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