一种用于电子束曝光设备的自动调节系统

本申请提供的一种用于电子束曝光设备的自动调节系统，上位机在工作时，可以调用外置相机对物镜放大所得的实像进行成像，并对成像后的光镜画面进行分析后，根据分析结果驱动调节组件或操作机器人对光镜载物台上的样品架、样品架上的样品台，以及光学显微镜进行调节，并控制操作机器人对电子束曝光设备的XYZ轴进行归零操作，以对样品台上的样品进行调节。该过程无需人工操作，即可通过上位机实现自动化校准、调节操作，从而有效节省了设备操作时间，并提高操作准确度，进而能够精确地控制电子束在不同位置上曝光，并且，本申请使用外置相机替代了电子束曝光设备中原有的相机，进而有效提高画面传输效率和自动调节效率。