一种基于平面器件的暗场散斑照明超分辨成像系统

本发明公开了一种基于平面器件的暗场散斑照明超分辨成像系统，属于超分辨暗场成像领域，所述系统利用633nm激光光源发出波长为633nm的强相干性光束，通过多模光纤束入射到平面器件中，出射的激光入射到二氧化钛散射层中进行散射，入射到一维光子晶体，所述一维光子晶体筛选数值孔径大于0.6的散斑穿过所述一维光子晶体并照明样品；被照明的样品发出散射光到达像面探测器形成样品的暗场散斑图案；通过振动器振动多模光纤束改变入射强相干性光束的位相，将多张不同的暗场散斑图案进行恢复得到高分辨率暗场图像。本发明成像分辨率高，结构紧凑易于集成，操作简单，无需严格对准过程，实现了高对比度的超分辨暗场成像和表面波成像。