摘要
本发明属于半导体加工技术领域,公开一种封装片的切割方法,用于在第一规格封装片切割出第二规格封装片,封装片的切割方法包括,在第一规格封装片上设置与晶圆匹配的放置凹槽,设置四条边均与放置凹槽相切的矩形导槽,矩形导槽的深度大于放置凹槽深度且小于第一规格封装片厚度,沿矩形导槽对第一规格封装片进行切割,形成第二规格封装片。通过设置矩形导槽可实现切割成的第二规格封装片形状规整,晶圆封装后形成的芯片小型化,矩形导槽的设置相当于对第一规格封装片进行初步切割,使用切割刀沿矩形导槽切割第二规格封装片时,可调小切割刀的切割力度,放置凹槽切点处所受到的切割应力变小,降低第一规格封装片被切割时破片的风险。
技术关键词
封装片
切割方法
导槽
矩形
凹槽
开槽宽度
切割刀
晶圆
半导体
端点
应力
芯片
直线
风险
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