一种封装片的切割方法

AITNT
正文
推荐专利
一种封装片的切割方法
申请号:CN202411928797
申请日期:2024-12-25
公开号:CN119812116A
公开日期:2025-04-11
类型:发明专利
摘要
本发明属于半导体加工技术领域,公开一种封装片的切割方法,用于在第一规格封装片切割出第二规格封装片,封装片的切割方法包括,在第一规格封装片上设置与晶圆匹配的放置凹槽,设置四条边均与放置凹槽相切的矩形导槽,矩形导槽的深度大于放置凹槽深度且小于第一规格封装片厚度,沿矩形导槽对第一规格封装片进行切割,形成第二规格封装片。通过设置矩形导槽可实现切割成的第二规格封装片形状规整,晶圆封装后形成的芯片小型化,矩形导槽的设置相当于对第一规格封装片进行初步切割,使用切割刀沿矩形导槽切割第二规格封装片时,可调小切割刀的切割力度,放置凹槽切点处所受到的切割应力变小,降低第一规格封装片被切割时破片的风险。
技术关键词
封装片 切割方法 导槽 矩形 凹槽 开槽宽度 切割刀 晶圆 半导体 端点 应力 芯片 直线 风险
系统为您推荐了相关专利信息
1
一种传送杠、冲压产线及冲压产线的工作方法
传送带 机械臂 拾取器 矩形框体 工位
2
电子封装件
电子封装件 承载结构 线路结构 电子元件 导电结构
3
一种芯片生产用吸盘
环状 芯片 负压设备 负压管 环形
4
一种康复陪护机器人的智能化监护方法
对象 陪护机器人 监护方法 像素点 双曲正切函数
5
一种灯箱内期望测试点位测量装置及测量方法
亮度测量仪 位移台 灯箱 测量方法 工位
添加客服微信openai178,进AITNT官方交流群
驱动智慧未来:提供一站式AI转型解决方案
沪ICP备2023015588号