摘要
本发明实施例提供了一种MOSFET器件和芯片,包括N型衬底;N型外延层,设于N型衬底另一侧;N型电流扩展层和第一P型埋层,设于N型外延层上方;N型电流扩展层与第一P型埋层连接;第一N+区,设于第一P型埋层的表面形成的凹槽中;沟槽,形成于N型电流扩展层和第一P型埋层上方;源极多晶硅区、栅极多晶硅区和氧化层,设于沟槽内,氧化层覆盖源极多晶硅区和栅极多晶硅区的表面。本发明实施例通过N型电流扩展层和第一P型埋层形成在源极多晶硅下方的沟道二极管,当器件处于反向导通状态时,沟道二极管比体二极管先导通,从而避免了处于反向续流工作模式时,体二极管续流损耗大且存在双极退化的问题。
技术关键词
P型埋层
栅极多晶硅
N型衬底
MOSFET器件
电流扩展层
势垒高度
氧化层
外延
二极管
背面金属层
沟槽
芯片
接触孔
碳化硅
凹槽
基材
损耗
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