一种基于氧化镓晶片的位错识别系统及其识别方法

本发明公开了一种基于氧化镓晶片的位错识别系统及其识别方法，涉及图像处理技术领域，包括基于分析管理终端，控制电子显微镜对氧化镓晶片进行图像采集，获取待识别氧化镓晶片图像；对待识别氧化镓晶片图像进行分析处理，获取氧化镓晶片的位错相关数据。本发明先是通过对待识别氧化镓晶片图像的频谱特征进行分析，确定氧化镓晶片中是否含有位错，然后，对含有位错信息的氧化镓晶片进行位错密度计算，确定氧化镓晶片的位错密度，最后，对氧化镓晶片的位错密度进行评估，确定氧化镓晶片的质量，选择是否需要对氧化镓晶片的生产工艺进行优化，所以，上述方法能够确定精准的确定氧化镓晶片的质量，确定氧化镓晶片是否能够投入使用，降低了生产成本。