一种基于视觉对准的混合键合设备及混合键合方法

本发明公开了一种基于视觉对准的混合键合设备及混合键合方法，属于键合加工设备领域，其包括键合组件、第一位移机构、第二位移机构、第一视觉组件、光学标定组件、第二视觉组件和承载台，通过两视觉组件与两位移机构的相互配合，以及光学标定组件的对应设置，进而可准确获取标定点、待键合芯片和目标芯片上标记点的位置坐标，从而准确得到两芯片之间的补偿位置信息，实现两芯片混合键合前的视觉对准。本发明中的混合键合设备，其结构紧凑，使用便捷，能够准确完成待键合芯片与晶圆上目标芯片的键合，并在混合键合前准确实现待键合芯片与目标芯片之间的视觉对准，有效保证芯片混合键合时的对位精度，减少键合过程中的误差，提升芯片产品的质量。