摘要
本发明涉及一种取晶棒机器人及取晶棒方法,该机器人包括移动主体、第一升降机构、夹持机构、第二升降机构、第三升降机构、晶托机构以及剪晶机构。与现有技术相比,本申请提供的取晶棒机器人在取晶棒过程中,能够降低晶棒与晶托机构的对接难度以及晶棒的悬空时间,降低晶棒断裂破碎的风险。并且,基于晶托机构的支撑,即使发生断裂,断裂晶棒也不容易直接掉落。同时,还能适配不同长度晶棒的取出需求。在提升晶棒取放的自动化和智能化水平的同时,降低了操作成本和生产风险,提升了晶棒处理的效率和安全性。
技术关键词
升降移动支架
晶托
升降导轮
升降机构
夹持支座
减速机安装座
机器人
升降侧板
升降齿轮
夹持机构
夹臂
升降横梁
升降驱动组件
升降电机
旋转器
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