摘要
本发明实施例提供了一种芯片结构和芯片与散热衬底的连接方法。该芯片结构包括:芯片和用于对所述芯片进行散热的散热衬底,所述芯片的上表面设置有第一金属层结构,所述散热衬底的下表面设置有第二金属层结构,所述第一金属层结构与所述第二金属层结构相邻且层叠设置,所述芯片和所述散热衬底通过所述第一金属层结构和所述第二金属层结构连接在一起。通过本发明实施例,解决了相关技术中散热衬底的翘曲会增加芯片与散热衬底间的键合难度的问题,达到提高芯片与散热衬底之间键合的可靠性的效果。
技术关键词
金属层结构
散热衬底
芯片结构
阻挡层
金刚石热沉片
扩散层
铝金属基复合材料
单晶金刚石
多晶金刚石
层叠
基底
金属材料
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