摘要
本发明提供了一种倒装LED芯片及其制作方法。该方法通过将传统细长型倒装LED芯片设计优化为宽短型结构,并采用细长条形的P/N电极焊盘布局,控制两电极焊盘间距为50–250微米。具体工艺包括在图形化衬底上生长LED外延结构,形成MESA确定芯片尺寸,依次制备透明导电层、介质反射层和金属反射层叠层,提高出光效率;然后沉积双层绝缘钝化层并开窗,制作两级金属电极以形成P/N焊盘。经上述设计,芯片受力分布更均匀,大幅降低固晶封装过程中因应力集中导致的断晶风险,同时适中的焊盘间距避免了连锡短路,显著提升了LED芯片的可靠性和产品良率。
技术关键词
倒装LED芯片
金属电极层
金属反射层
半导体层
焊盘窗口
透明导电层
LED外延结构
芯片结构
衬底上外延生长
N电极焊盘
介质
长条形
细长型
绝缘
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