一种真空蒸镀机的晶圆运转装置

本实用新型公开了一种真空蒸镀机的晶圆运转装置，属于晶圆片蒸镀技术领域，包括机械臂以及与其连接的托盘夹取装置，托盘夹取装置包括固定架、夹爪组件和吸取组件；夹爪组件通过气缸调动气杆上下移动，同时结合气杆的负压对压板进行吸取，在机械臂的操作下将压板覆盖在带蒸镀的晶圆片上，实现压板的自动转动；其次，在固定架的底部设置有虹膜机构，虹膜机构能够带动多个夹爪沿托盘的径向往复移动，实现对托盘的锁止和解除锁止，托盘在锁止状态通过机械盘即可实现托盘的自动化转运，该装置将压板的吸取组件和托盘的夹取组件结合在一个机械臂上，减少了机械臂的数量，同时减少了工作时的工作面积，大大提高托盘和压板的转动效率；最后在结合吸盘机械臂，机械实现晶圆片、托盘和压板的自动化运转，提高了晶圆片的蒸镀效率，降低了晶圆片的蒸镀成本。