摘要
一种硅片抓取机构、移载设备,包括:安装架;夹指组,其设有配置在安装架下方的主夹指和副夹指,用于夹持硅片组的端部;托顶组,其设有若干可穿过所述安装架的辅助杆;所述辅助杆能够在被所述夹指组夹持的硅片组处于非竖直状态时,伸长并托抵硅片组,使其整体被叠置;并能够在硅片组处于被夹持的竖直状态时回撤。本申请一种硅片抓取机构,结构设计简单且易于控制,不仅可对立式硅片组进行单次多沓的夹取,而且还可在硅片组水平置放时,能保证置于下方的硅片不会出现变形或完全,保证硅片组的一致性和安全性,使所有硅片组能平稳且完整地被移置转运。
技术关键词
硅片抓取机构
移载设备
夹持硅片
非竖直状态
气缸
立式硅片
机械臂
管接头
柔性
气泵
轴套
气压
侧部
弯曲
空腔