摘要
本公开提供一种用于芯片测试的压接温控装置,所述装置包括:压头组件,所述压头组件包括多个子压头,所述多个子压头间隔设置,用于压紧接触待测芯片的不同位置,并且用于实现对所述待测芯片不同位置的温度控制;以及调节组件,所述调节组件连接或压紧接触所述压头组件,并用于向所述压头组件传递压力,以实现所述多个子压头压紧接触所述待测芯片的不同位置。
技术关键词
待测芯片
压头组件
温控装置
液压组件
调节组件
控制器
通孔
温度传感器
驱动组件
框架
测试板
底板
限位块
压力
高密度
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