晶圆承载板以及晶圆搬运设备

本实用新型提供了一种晶圆承载板以及晶圆搬运设备。所述晶圆承载板用于承载待处理晶圆，包括：多个第一导气槽，十字交错排布于所述晶圆承载板表面；多个第二导气槽，排布于所述晶圆承载板表面、并与所述第一导气槽之间具有一夹角。本实用新型通过在晶圆搬运设备的晶圆承载板表面形成与第一导气槽之间具有一夹角α的多个第二导气槽，能够减小待处理晶圆与晶圆承载板之间的吸附力，在待处理晶圆处理完毕后，向第一导气槽和第二导气槽内导入气体，可以很轻易地将待处理晶圆从晶圆承载板表面剥离，晶圆搬运设备将待处理晶圆从现有设备搬运至其他设备上，以进一步进行后续的处理，避免强制剥离待处理晶圆，造成待处理晶圆损伤。