一种流量传感器加工用定位工装

本实用新型属于加工工装技术领域，具体公开了一种流量传感器加工用定位工装，用于解决晶圆片加工过程的转移不稳定及转移后无法确保晶圆片与减薄台同心设置，进而无法确定各个晶圆片与砂轮磨盘之间的接触面统一，最终不能形成平坦度统一的晶圆成品的技术问题；包括对称设置于托盘两侧的对中机构；既能利用双侧对称设置的对中机构对晶圆片完成预对中和二次对中操作，能够实现晶圆片在减薄生产中完成稳定的定位夹持后还能够确保得到对中，从而使各个晶圆片与砂轮磨盘之间的接触面统一，最终形成平坦度统一的晶圆成品；又能利用驱动组件移动过程中的自定位结构，实现弹性撑环的同向旋转完成定位、对中，对上述的定位、对中具有维稳作用。