一种镀膜装置

本申请公开了一种镀膜装置，包括：蒸发箱体；坩埚，位于蒸发箱体的内腔，坩埚用于盛放镀膜材料；承载机构，设置在蒸发箱体的内腔，承载机构包括机械臂和载物块，机械臂的末端设置有第一驱动器，第一驱动器的驱动端与载物块的顶面连接，载物块的一侧设置有容纳槽，载物块的底面设置有与容纳槽连通的贯通孔，容纳槽用于放置基板，机械臂用于带动载物块移动以使载物块的底部与坩埚的开口之间的距离小于预设的距离阈值，且贯通孔位于坩埚的正上方，第一驱动器用于驱动载物块旋转以带动基板旋转，基板遮盖贯通孔；加热模块，位于蒸发箱体的内腔，加热模块用于加热坩埚。根据本申请提供的实施例，能够避免浪费镀膜材料以及提高成膜效果。