一种晶圆搬运机器人

本申请公开了一种晶圆搬运机器人，包括机架、机械臂和末端执行器，所述末端执行器包括：基座，其与所述机械臂连接；执行机构，其与所述基座连接，所述执行机构包括可转动的翻转轴和可移动的夹持手指；扫描部，其设于所述执行机构的一侧，用于扫描晶圆片位置；第一吸附板，其设于所述执行机构的另一侧，并与所述翻转轴连接，以使所述第一吸附板在所述翻转轴转动时随动，所述第一吸附板在所述机械臂的带动下能够吸附所述晶圆片，并通过所述夹持手指将所述晶圆片夹持在所述第一吸附板上。