一种半导体芯片裁切设备

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一种半导体芯片裁切设备
申请号:CN202421898493
申请日期:2024-08-07
公开号:CN223147448U
公开日期:2025-07-25
类型:实用新型专利
摘要
本申请公开了一种半导体芯片裁切设备,涉及半导体芯片生产技术领域。本申请包括机架、均滑动设置在机架上的横移架与竖移架、滑动设置在横移架上的纵移架,横移架、竖移架以及纵移架分别沿X轴、Z轴以及Y轴滑动,所述纵移架上转动设置有转盘,所述转盘上设置有用于将半导体芯片固定或解除固定的固定件,所述竖移架上转动设置有刀轴,所述刀轴上滑动设置有多个刀座,所述刀座上设置有刀片,位于中部的刀座为第一座,其余多个刀座均为第二座。本申请在使用时,通过多个刀片对半导体芯片进行等距裁切,从而减少操作次数,操作方便的同时也提高了裁切效率,同时可以调整裁切间距,提高使用灵活性,因此更具有实用性。
技术关键词
半导体芯片 裁切设备 刀座 移动架 移动块 楔形块 弧形板 刀轴 弹性件 驱动块 真空装置 环形 刀片 驱动件 机架 Y轴 空腔 丝杆 滑槽 自由端
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