具气压调节模块的基板处理设备

本实用新型提供一种具气压调节模块的基板处理设备，包括设备框体与设置在设备框体内的气压调节模块。气压调节模块包括风扇滤网机组与调节组件。风扇滤网机组位于设备框体的顶部且提供气流从顶部吹向设备框体的底部。调节组件位于设备框体的底部。调节组件具有可控式气孔，连通设备框体的内部空间与外部环境，调节组件通过控制流经可控式气孔的气流流量，而调节内部空间的气压。本实用新型的具气压调节模块的基板处理设备，其能调节设备内部空间的气流，以确保设备内部空间的正压环境。