摘要
本实用新型提供一种半导体芯片的测试装置,测试装置,包括:连接板,其顶部设置有加热电阻丝和冷却管道,所述连接板用于电连接于外部的测试机上;冷却液循环机,其连接口与所述冷却管道连通,所述冷却液循环机与所述冷却管道之间,形成冷却流道;电源模块,其输出端电连接于所述加热电阻丝上;芯片测试座,电连接于所述连接板上,且位于所述加热电阻丝、所述冷却管道的一侧,所述芯片测试座用于安装被测器件;以及检测控制模块,电连接于所述电源模块的控制端、所述冷却液循环机的控制端,所述检测控制模块用于检测并调节所述芯片测试座处的当前温度。本实用新型可快速调节被测器件的测试温度,提高了测试人员在测试过程中的便利性。
技术关键词
半导体芯片
冷却管道
芯片测试座
冷却液
电阻丝
电源模块
控制模块
冷却流道
循环机
保温隔热
控制单元
加热
温度传感器
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