一种带有多功能电极的微机械陀螺

本实用新型揭示了一种带有多功能电极的微机械陀螺，由衬底上的电极部和硅结构层组成。该硅结构层一体成型有多晶硅片、横向展臂和接点盘，其中接点盘分设于多晶硅片四角并通过横向展臂与多晶硅片相连，该多晶硅片悬空设于电极部上且部分重合相对，该电极部由独立设置并各自引出一个引脚到芯片外部的两个驱动电极、两个检测电极和两个补充电极组成，其中驱动电极对应多晶硅片边缘设置，补充电极位于两个检测电极之间呈并排状。该微机械陀螺优化了四电极布局，不需要单独再为每个功能区域专门预留引脚和电极，有利于缩小芯片尺寸、降低成本并减少耦合信号串扰，提升陀螺精度与性能；通过补充电极的多功能赋能，使微机械陀螺能够满足多种工况。