MEMS麦克风芯片

本实用新型提供的MEMS麦克风芯片，其包括具有背腔的基底、固定于所述基底且位于所述背腔上方的振膜以及沿振动方向与所述振膜间隔设置形成内腔的背板，所述振膜包括位于所述背腔上方的主体部、环绕所述主体部并固定于所述基底的支撑部以及与所述主体部部分间隔形成第一泄气缝的泄气阀，所述泄气阀包括至少一个泄气片，所述泄气片包括与所述主体部连接的固定部、与所述主体部间隔设置的活动部以及连接所述固定部和所述活动部的连接部，所述固定部的宽度小于所述活动部的宽度。本实用新型提供的MEMS麦克风芯片的可靠性高。