片盒模块和涂胶显影装置

本实用新型涉及半导体制造中的涂胶显影领域，提供一种片盒模块，应用于涂胶显影装置，包括：第一装载工位，用于装载待处理的晶圆；第二装载工位，用于装载已处理的晶圆；第二装载工位位于所述第一装载工位的一侧；进出站机器人，用于将所述第一装载工位上的晶圆传送至进片总工位，以及将片盒回片支路工位上的晶圆传送至所述第二装载工位；传片机械手，用于将进片总工位上的晶圆传送至片盒进片支路工位；所述片盒回片支路工位位于所述片盒进片支路工位的底侧；所述传片机械手位于所述片盒模块的第一侧或第二侧；所述传片机械手的对侧安置有辅助工艺单元，所述辅助工艺单元用于对晶圆进行辅助处理。该片盒模块用于适应高吞吐量的晶圆生产需求。