一种晶圆翻转机械手

本发明涉及半导体技术领域，尤其是涉及一种晶圆翻转机械手。晶圆翻转机械手包括机械臂、托板、夹爪、钩爪、直线驱动机构和翻转驱动机构；托板设置在机械臂的端部，翻转驱动机构连接托板，直线驱动机构、夹爪和钩爪均在托板上，夹爪和钩爪相对设置，直线驱动机构连接夹爪。本发明能够通过夹爪和钩爪将晶圆固定在托板上，通过翻转驱动机构带动托板进行翻转完成晶圆的翻转，在通过机械臂带动晶圆进行移动，从而完成了晶圆的翻转和搬运，不需要进行先在翻转工位上进行翻转，再进行移动，减少了操作工序，提高了传送效率，降低了晶圆在搬运过程中接触点掉落颗粒的风险。