一种真空吸盘式的不掉落晶棒抓手装置及使用方法

本发明公开了一种真空吸盘式的不掉落晶棒抓手装置，该装置包括主体、罩壳、真空吸附模组和破真空模组，所述主体包括第一支撑框架和第二支撑框架，所述罩壳包括第一罩壳和第二罩壳，所述第一支撑框架上设置有第一罩壳，所述第二支撑框架上设置有第二罩壳，所述第一支撑框架下部与第二支撑框架连接。本发明通过采用真空发生器产生负压到吸盘对晶棒进行吸附抓取作业，通过机器人带动抓手到晶棒上方进行搬运，搬运过程中由单向阀和逻辑阀对吸盘进行稳定保持负压来达到断气不掉落晶棒，由常开型电磁阀来达到断电不掉落晶棒。