基于深度学习的AFM目标点定位轨迹规划系统及方法

本发明公开了基于深度学习的AFM目标点定位轨迹规划系统及方法，涉及纳米操纵技术领域，本发明基于深度学习的AFM目标点定位轨迹规划系统，先通过AFM扫描模块获取样品形貌图像，经图像分割模块处理确定样品区域，再由路径规划模块生成原始路径，接着深度学习模型模块预测定位轨迹，由轨迹对比模块对比差异后由定位控制模块实现精准定位，最后由力学检测模块检测目标点力学数据。