微结构测量中相干噪声样本数据集建立方法

本发明涉及微结构测量技术领域，具体涉及微结构测量中相干噪声样本数据集建立方法，包括以下步骤：S1、系统参数定义初始设置；S2、光学元件建模参数化。本发明基于标量衍射理论建立了数字全息显微仿真系统，充分考虑了整个光路的完整传递过程，并将光源、透镜与被测物参数纳入了仿真系统之中，以USAF1951标准靶为标准物质，对其进行仿真生成全息图并重建，重建结果表明再现后的三维结构与标准物质基本吻合，通过讨论了系统的整体分辨率，仿真系统分辨率与理论分析结果一致，并且与实验结果吻合，分析了测量透明介质下微结构实验中产生寄生条纹的主要原因，并对其进行了仿真，通过与实验拍得的寄生条纹进行对比，可以看出两者在结构上高度吻合。