一种基于MEMS敏感元件的可扩展量程的力传感器

本发明涉及MEMS触觉传感器感知模组技术领域，具体是一种基于MEMS敏感元件的可扩展量程的力传感器，包括传感器模组外壳以及内置于传感器模组外壳内的MEMS触觉传感器测试电路和机械力传递结构，所述的机械力传递结构包括传力柱和弹性体，传力柱上端内嵌在传感器模组外壳顶面，下端固定在弹性体的中心位置，通过传力柱将施加在传感器模组外壳顶面上的力传递到弹性体上，弹性体的下表面中心位置与MEMS触觉传感器测试电路上的MEMS触觉传感器固定，当力传递到弹性体上时，弹性体底部发生形变，力衰减后施加到MEMS触觉传感器上，通过力衰减来扩大传感器的量程。本发明可以解决MEMS传感器所面临的量程小、输出不稳定问题。