摘要
本发明提供一种红光LED芯片制备方法及红光LED芯片,该方法包括以下步骤:提供一衬底;在衬底上生长包含DBR反射层的外延结构,以制备得到红光LED芯片;其中,DBR反射层包括多个层叠式设置的由第一AlGaAs层及第二AlGaAs层构成的复合层,第一AlGaAs层中的Al的组分占比小于Ga的组分占比,复合层的数量为25层‑28层。通过将常规红光LED中的22对DBR层提高至25层‑28层,从而提高外延的基础亮度,进一步通过控制DBR层中Al的组分占比使其小于Ga的组分占比形成第一AlGaAs层,配合层叠式设置的第二AlGaAs层,可以有效控制Al组分发生氧化,从而降低在后制程中的外延层氧化导致的暗裂,保证产品良率。
技术关键词
红光LED芯片
外延结构
电流扩展层
半导体层
层叠式
衬底
电子束蒸发技术
复合层
空穴阻挡层
电子阻挡层
参数
发光层
良率
制程
亮度
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