可见光和短波红外双波段探测器

本发明的一种可见光和短波红外双波段探测器包括：管壳、盖板、热电制冷器、短波红外芯片组、带有腔体的多层陶瓷基板、微透镜阵列、硅基可见光芯片、增透膜和围堰胶，开有窗口的盖板焊接在管壳的上端，带有腔体的多层陶瓷基板固定在管壳的底板上，在陶瓷腔的底面上设置有热电制冷器，短波红外芯片组设置在陶瓷腔内的热电制冷器上，在硅基可见光芯片的光敏面设置有微透镜阵列，增透膜制作在硅基可见光芯片的背光面，围堰胶涂敷在短波红外读出电路芯片的外周上，带有增透膜的硅基可见光芯片固定在围堰胶上，使得硅基可见光芯片的像素与铟镓砷短波红外光敏芯片的像素上下对齐并且一一对应，在增透膜和铟镓砷短波红外光敏芯片的光敏面之间填充有填充胶，硅基可见光芯片以及铟镓砷短波红外芯片通过引线键合丝与陶瓷基板相连。